芯片由于其精密性能原因，对于外界的环境敏感程度比较高，如果有灰尘沾染就可能造成芯片的失效等情况，为了降低这种风险，需要把制造机器安置在基本上没有任何微尘的无尘车间里。具体谈谈半导体芯片制造无尘车间设计方案。

无尘车间采用孔状框型地板，以便空气能够从天花板垂直流动到制造和设备区的底部区域，当气流回送到无尘室时，将通过微粒空气过滤器除去气流所带的大部分微粒。空气扰流会将墙壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒带入空气中，而且使得微粒不容易静止，但通过线性气流后，空气中的微粒就能很快被气流带走。因此楚翔将维持线性直线气流、避免空气扰动作为该无尘车间的建设重点。

针对IC生产的工艺高要求，百级环境人净与物净设施需要严格按照标准建设。

遵循人净要求做动线布局设计:

入口-换鞋-更换外出服-洗浴-清洁走廊-二次洗浴-换洁净服-风淋室-洁净生产区

遵循物净要求做动线布局设计:

入口-原料库-粗洁净-传递窗-精洁净-传递窗-洁净生产区-传递窗-包装-成品库

除此之外在施工阶段要严格注意各工段的防静电区域，除了防静电装修，必要的工段设计师要布局专业的防静电仪器，同时，消防和自控系统因地制宜。楚翔一般会将空气净化机房、超纯水处理站设计于同一层,洁净空气、纯净水通过技术管道夹层送到洁净生产区。可以有效地避免设备运行时震动产生灰尘,设备用房与主体厂房间结构设缝断开。